数十年来一直在进行研究，以开发出具有微米级分辨率的执行器，该执行器可以与半导体处理一起使用，并且可以使用常规电子信号触发。虽然已经开发了基本的微观机器人，但是由于没有有效地使用常规的硅电子设备，所以它们都具有有限的功能。但是，康奈尔大学的研究人员已经成功创建了数百万个使用常规电子设备运行的亚微米步行机器人。
开发的机器人非常小（大约草履虫的大小），以至于数百个机器人可以同时通过皮下注射针头。这些机器人具有微小的光伏面板，外部激光可以将其瞄准以发出机器人命令。它们以四个电化学致动器为支腿，这些致动器连接到用作处理中心的硅光伏电池。现有的半导体技术已被用于使机器人的大脑小巧，可释放。
每个机器人都有极细的铂金条，在铂条的一侧上有一层钛。在对铂金条施加正电荷后，附近环境的负离子就会出现并平衡电荷。相同的离子会使铂膨胀并弯曲腿。金属条上的聚合物块可以创建弯曲点，模拟膝盖或脚踝。
根据研究人员的说法，该团队致力于使机器人与标准微芯片制造兼容，从而为使这些微型机器人变得智能，快速且可批量生产打开了大门。该团队还补充说，使用现有的光刻工艺，单个4英寸的硅晶圆可用于制造大约一百万个新机器人。这些机器人已经成功地为构建更复杂的微观机器人铺平了道路，这些机器人有一天可能会在人体中使用。此外，团队计划在这些微型机器人上进行电子集成。